半导体检测设备
TGV 玻璃基板AOI检测

产品介绍:

针对TGV玻璃基板内部大量高密度微孔是否存在不良的检测需求,通过设计专用的光学检测系统和缺陷智能检测AI分类算法,结合高精度和高速度的大理石移动平台,智能判定各类缺陷,并提取分类,有效解决TGV玻璃基板在制造过程中质量控制的痛点。


产品介绍:

1.检测速度0.25sec/FOV,2D检测分辨率可达1um/Pixel;

2.主要检测TGV微孔的孔径大小, 通孔有无,通断、裂纹、漏点以及不通、孔内异物、玻璃渣、脏污、划痕、盲孔、 崩边,裂纹,表面Particle等缺陷,以及通孔中心孔径,通孔圆度。
3.兼容产品尺寸范围:510mm*510mm,支持定制;
4.模块化光路密封设计,高稳定性光路传输结构;
5.优异的失量图形读取处理能力,瞬间处理超大图形;
6.基于自研AI的缺陷自动检测与分类算法,自动输出缺陷类别、坐标、尺寸;
7.数据可追溯,强大的SPC分析及预警。



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